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山東力冠微電子裝備

產(chǎn)品展示

產(chǎn)品分類

暫無數(shù)據(jù)

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聯(lián)系方式

地址：濟(jì)南市槐蔭區(qū)濟(jì)南寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園

電話：15562450816

郵箱：liguan1218@163.com

立式爐

該設(shè)備是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、 分立器件、電力電子、光電器件等行業(yè)的磷/硼擴(kuò)散、氧化、退火、合金和燒結(jié)等工藝 ； 主要用于初始氧化層、柵氧化層、場氧化層等多種氧化介質(zhì)層的制備工藝。

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