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山東力冠微電子裝備

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SiC籽晶粘接設(shè)備

本設(shè)備是將SiC籽晶通過有機(jī)膠粘接在石墨上。提高籽晶粘接質(zhì)量是保證高 品質(zhì)SiC晶體生長的首要前提。

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